单一气体分析仪
AtmoSense™ 实时计量各种气氛控制应用中的工艺气体。AtmoSense™ 具有一系列传感器和选件,可准确计量露点、相对湿度 (%RH)、甲烷 (CH4)、丙烷 (C3H8)、氢气 (H2)、一氧化碳 (CO) 或二氧化碳 (CO2)。AtmoSense™ 气体分析仪可以单独使用或与其他传感器配合使用,用于计量多种工艺气体,且其可独立使用,或集成至新的控制系统或现有控制系统。
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