多目的窒化/軟窒化NXKシリーズは、小規模処理や一般的な実験/試験用として、コスト的にも信頼性の高い装置です。AMS2759/10およびAMS2759/12規格に準拠し、最新技術を駆使し、すべてのコンポーネントを1つのコンパクトなプラットフォームにまとめ上げた、総合的な設計を採用しています。
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